导读: 三方同意共同合作,依托中科钢研及国宏中宇在碳化硅晶体材料生长工艺技术方面已经取得的与持续产出的研发成果,结合露笑科技的真空晶体生长设备设计技术及丰富的装备制造技术与经验,共同研发适用于中科钢研工艺技术要求的4英寸、6英寸、8英寸乃至更大尺寸级别的碳化硅长晶设备,目前首批2台套升华法碳化硅长晶炉已经完成设备性能验收交付使用,经过优化后的碳化硅长晶炉设备将应用于国宏中宇主导的碳化硅产业化项目中
磨料用碳化硅的粒度要求比较严格,基本粒度集中到相当程度,超过范围的最粗粒一般不允许存在,细粒也有限制。
表5为我国碳化硅磨料粒度尺寸(GB2477-83)与国外标准的对比。
化学成分要求与磨料用黑碳化硅完全相同,主要用于制造高级碳化硅耐火材料,如R-SiC、Si3N4、SiSiC质的窑具、横梁、烧咀、汽轮机部件等。
以下是碳质耐火材料对碳化硅的技术要求: 我国国家标准GB2480-1996对磨具或研磨材料用的碳化硅的化学成分、密度等提出了要求,见表1。
石墨的加入量对素坯密度有很大的影响,为使硅化后的碳化硅制品的最终密度能接近理论值,所以在模压成型时要求能达到预期所需的素坯密度,根据素坯密度值,反过来可用下式来计算石墨所需的加入量: 成型坯体先在40℃慢慢干燥后再在1005干燥,然后进行硅化反应烧结。
自结合碳化硅,就是将α-SiC与碳粉混合后,用各种成型方法成型,然后将坯体置于硅蒸气中加热,使坯体中的碳粉硅化变成β-SiC,而将α-SiC的颗粒紧密结合成致密制品。
例如,在1350℃的温度下,用70~90MPa的压力进行热压,如果原料是高温型的α-SiC,则密度不超过理论值的96%;如果使用低温型的β-SiC,则热压密度可以达到3.20g/cm3,接近于理论值,并在烧结过程中转变为高温型的α-SiC。
为了获得纯碳化硅的致密陶瓷制品,以便最大限度地利用碳化硅本身的特性,所以发展了自结合反应烧结法和热压法制造工艺。
为了适应5G通讯市场对于高性能、高频HE MT器件需求的快速增长,中科钢研、国宏中宇已经开始高纯半绝缘型碳化硅材料研发并取得了积极进展,结合露笑科技的真空设备设计与制造经验,三方将密切合作在高纯半绝缘型碳化硅长晶炉、高纯半绝缘型碳化硅衬底片加工制造、基于高纯半绝缘型碳化硅衬底片的氮化镓外延片制造等方面开展深入合作,以尽快成为5G通讯行业核心关键材料的主要供货企业。
三方同意共同合作,基于中科钢研及国宏中宇在碳化硅衬底片加工、清洗及检测方面已经取得的与持续产出的研发成果,结合露笑科技在蓝宝石衬底片加工方面的技术积累、产业化生产装备运维经验、产品品质管理与生产组织经验,共同建设碳化硅衬底片加工中心。
三方同意共同合作,依托中科钢研及国宏中宇在碳化硅晶体材料生长工艺技术方面已经取得的与持续产出的研发成果,结合露笑科技的真空晶体生长设备设计技术及丰富的装备制造技术与经验,共同研发适用于中科钢研工艺技术要求的4英寸、6英寸、8英寸乃至更大尺寸级别的碳化硅长晶设备,目前首批2台套升华法碳化硅长晶炉已经完成设备性能验收交付使用,经过优化后的碳化硅长晶炉设备将应用于国宏中宇主导的碳化硅产业化项目中。
露笑科技将通过自身业务需求与现有渠道为国宏中宇产业化项目生产的碳化硅衬底片提供市场拓展、产品应用等方面的业务与技术支持。
据悉,该项目系中科钢研与国宏华业在引进日本升华法(PVT),高温化学气相沉积法(HTCVD)及俄罗斯电阻加热升华法等国际一流碳化硅长晶工艺技术与装备的基础上,通过三年来的技术消化吸收再创新,通过工艺建模、数值模拟、设备集成、工艺试验等方面的系统性工作,在碳化硅长晶专用装备、碳化硅高纯度原料合成、碳化硅单晶生长及衬底片加工工艺方面取得了较大进展,形成了具有自主知识产权的以碳化硅单晶生长核心工艺技术为代表的完整工艺技术体系。
当时中科钢研方面表示,力争用3到5年时间,将中科钢研与其战略合作伙伴联合创设的国宏中宇科技发展有限公司建设成以上海总部基地为核心,拥有国内外多个碳化硅晶体材料、碳化硅微粉、碳化硅电子电力芯片生产基地,产品销售与服务中心的,国内科研水平最高、产业规模最大、上下游产业链较为完整、产业示范引领作用最大的,以碳化硅半导体材料为代表,聚集第三代半导体材料及其应用技术与产品的高新技术企业集团。
2019年2月23日,位于南通的中科钢研产业项目开工,该项目建成达产后,可年产石墨烯碳纳米电热膜1200万延米、4英寸N型碳化硅晶体衬底片5万片、6英寸N型碳化硅晶体衬底片5万片、4英寸高纯度半绝缘型碳化硅晶体衬底片1万片、4/6英寸碳化硅电力电子芯片6万片。
技术方面,在2019年5月10日,中科钢研官方也表示,其具有自主知识产权的六英寸碳化硅单晶生长装备顺利投入使用,进入六英寸碳化硅单晶生长工艺验证阶段。
在工业涂料领域,尤其是底漆中,滑石粉的引入可以提高涂膜的防腐蚀性能及抗裂性能,并且能够提高附着力以及打磨性,还能起到防沉和防流挂的作用。
氢氧化铝作为阻燃填料,热稳定性好,具有阻燃、消烟、填充3大功能,是防火涂料中最主要的无机填料。
在涂料应用领域,根据不同的矿物学特征及基本化学组成,填料大致可以分为碳酸盐、硅酸盐、二氧化硅、硫酸钡以及氢氧化铝5种类型。
无机填料又称体质颜料,由于折射率与成膜物质相近,不具有着色颜料的着色力和遮盖能力,但可以通过填充增加涂膜的厚度,在涂料中起骨架作用,使得涂膜丰满厚实,也因此能够降低涂料生产的成本。
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